|
ÀϹÝÀûÀ¸·Î Çöó½ºÆ½Àº ¼Ò¸êµÇÁö ¾Ê´Â
Á¤Àü±â ÃàÀûÀÇ ¿øÀÎÀÎ ³ôÀº ÀüÀÚ Àý¿¬ (electronic insulating) Ư¼ºÀ» Áö´Ï°í
ÀÖ½À´Ï´Ù. Á¤Àü±â ¹ß»ýÀÇ ÁÖ ¿øÀÎÀ¸·Î´Â ¸¶Âû ´ëÀü (friction electrification),
¸¶Âû (rubbing), ¹Ú¸® (exfoliation) µîÀÌ
ÀÖ½À´Ï´Ù.
ÀÌ Á¤Àü±âµéÀº Àü±â, ÀüÀÚÁ¦Ç°ÀÇ °¢Á¾ °íÀå (circuit break, malfunctioning
and memory breakdown)À» ¹ß»ý½Ãŵ´Ï´Ù.
´ç»çÀÇ µµÀü¼º º¹ÇÕ¼ÒÀç´Â IC shopping trays,
Wafer carrier, Tote box µî °¢Á¾ Àü±â, ÀüÀÚ Á¦Ç° ±×¸®°í ±× Á¦Ç°µéÀÇ
Æ÷Àå¿ëÀ¸·Î »ç¿ëµÇ¾îÁý´Ï´Ù.
´ç»ç´Â Çöó½ºÆ½ Á¦Ç°ÀÌ ±¤¹üÀ§ÇÑ »ç¿ë ¿Âµµ ¿µ¿ª¿¡¼ Ä¡¼ö¾ÈÁ¤¼º ¹× ƯÁ¤ Àüµµµµ¸¦ °¡Áú ¼ö ÀÖ´Â
µµÀü¼º º¹ÇÕ ¼ÒÀ縦
°ø±ÞÇÕ´Ï´Ù.
|